微机械电容式加速度计读出电路研究与设计

• 作者: 张兴成 段王楠 马宗方
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: MEMS加速度计 微弱信号 电容检测 读出电路
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 设计与应用
• 页码范围: 233-237
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.16526/j.cnki.11-4762/tp.2020.08.047

摘要

为了提高电容式MEMS加速度计测量精度,设计了一种应用于MEMS加速度计微弱信号读出电路;读出电路由T型阻容网络放大电路、模拟开关解调电路和四阶带通滤波电路组成,通过Multisim软件仿真分析各模块电路原理并确定影响读出电路的主要因素,进一步优化确定元器件最佳参数,最后制作出PCB电路板并开展实验测试,实验结果表明微弱信号检测准确率达90％以上,能很好地满足电容式MEMS加速度计微弱信号检测要求,同时该读出电路具有尺寸小、易调节、易于ASIC集成等特点,在微机械仪表的微小电容检测中有较高的实用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马宗方	西安建筑科技大学信息与控制工程学院	24	195	9.0	13.0
2	张兴成	中国科学院微电子研究所	6	8	2.0	2.0
3	段王楠	西安建筑科技大学信息与控制工程学院	1	0	0.0	0.0