几种ITO靶材第二相的分离和特征对比研究

• 作者: 李凤龙 杨硕 王政红 苏摇 薛建强
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: ITO靶材 腐蚀产物 第二相
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 780-784
• 页数: 5页
• 分类号: TF124
• 语种: 中文
• DOI: 10.13373/j.cnki.cjrm.XY19020022

摘要

以来自不同氧化铟锡(ITO)靶材生产企业(编号为进口A、进口B、国产A、国产B、自制A、自制B)的靶材为对比试样,通过将各试样粉碎、过筛和王水腐蚀的方法分离并提取出各靶材的腐蚀产物,本文对腐蚀产物的剩余量、显微形貌、物相组成、失氧率等进行了观察和测试,并进行分析和对比.结果 表明:进口靶材晶内小颗粒倾向于聚集、合并,表现为以60～90 nm小颗粒聚集而成的200 nm以上的团簇,而其他靶材小颗粒独立性更强;腐蚀后产物为近等轴状的第二相In4Sn3O12或近等轴状与片状的In4Sn3O12和In2SnO5混合体;各靶材试样的腐蚀量均达到了90％左右,进口靶材试样腐蚀后的第二相余量更多,且加热后第二相粉末出现了1.3％～1.5％的增氧,而其他靶材的增氧率均在1％以下;计算发现,进口靶材的Sn和O含量均略低于国产靶材和自制靶材.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王政红	中国船舶重工集团公司第七二五研究所纳米中心	6	18	2.0	4.0
2	杨硕	中国船舶重工集团公司第七二五研究所纳米中心	19	8	2.0	2.0
3	薛建强	中国船舶重工集团公司第七二五研究所纳米中心	7	2	1.0	1.0
4	苏摇	中国船舶重工集团公司第七二五研究所纳米中心	2	0	0.0	0.0
5	李凤龙	中国船舶重工集团公司第七二五研究所纳米中心	1	0	0.0	0.0