N2流量对刀具硬质合金表面磁控溅射TiAlSiN涂层组织和摩擦性的影响

• 作者: 张松锋 田伟华
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲磁控溅射 TiAlSiN涂层 N2流量 摩擦系数 磨损率
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 427-431
• 页数: 5页
• 分类号: TG174
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.05.06

摘要

运用脉冲直流磁控溅射的方法在刀具硬质合金表面制备TiAlSiN复合涂层,实验测试N2流量对刀具硬质合金表面磁控溅射TiAlSiN涂层组织和摩擦性的影响.研究结果表明:TiAlSiN涂层出现TiSiN和AlN衍射峰.当N2浓度很高时,可以对晶粒生长起到阻碍作用,从而获得更加致密的组织结构.当设定较小N2流量时,涂层获得了最高硬度;当N2流量到达100 mL/min时,硬度提高到25.2 GPa,弹性模量保持稳定.随着N2流量的增加,涂层残余应力表现出增加,涂层结合力表现为先增大后减小.随着N2流量的增加,涂层摩擦系数表现出增加,磨损率表现出减小.在N2流量100 mL/min条件下,摩擦系数到达最大值0.55,磨损率到达最小值2.12.设定较低的N2流量,生成许多磨屑,形成犁沟;设定更高的N2流量,表现出更好的耐摩擦磨损性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张松锋	周口师范学院机械与电气工程学院	11	6	2.0	2.0
2	田伟华	周口职业技术学院汽车与机电工程学院	4	0	0.0	0.0