基于激光掺杂的SE+PERC单晶硅太阳电池关键工艺的研究

• 作者: 周肃 李菁楠 王丽婷 贾佳 邱家梁 黄国平 黄惜惜
• 来源期刊: 太阳能
• 学科: 工学
• 关键词: 激光掺杂 太阳电池 单晶硅 PERC 选择性发射极 初始方块电阻 烧结峰值温度
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 技术应用
• 页码范围: 31-37
• 页数: 7页
• 分类号: TM914.4
• 语种: 中文

摘要

在现阶段主流太阳电池生产设备的水平条件下,研究了激光频率、初始方块电阻和烧结峰值温度对基于激光掺杂的选择性发射极(SE)+PERC单晶硅太阳电池电性能的影响.分别采用奥林巴斯显微镜和Halm电学性能测试仪,分析了不同频率的激光在硅片表面形成的光斑形貌,以及不同实验条件时电池的电性能变化趋势.结果表明,激光频率为220 kHz时有利于在硅片表面形成连续性且不重叠的光斑,形成最佳重掺杂区,从而提升电池转换效率;基于现有的常压扩散设备的掺杂水平,在确保硅片表面方块电阻均匀性的情况下,初始方块电阻选择120Ω/□更有利于提升电池的转换效率;烧结峰值温度为790℃时,更有利于在电池电极位置形成良好的欧姆接触,从而获得最佳的电池转换效率.