磁控溅射制备Al2O3薄膜及耐蚀性能研究

• 作者: 刘强 吴坤尧 孙乐 鲁媛媛
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 Al2O3薄膜 耐蚀性
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术
• 页码范围: 2209-2213
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.4
• 字数: 3492字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2020.02.035

摘要

采用直流磁控溅射镀膜技术以高纯铝为靶材,氧气为反应气体,在304不锈钢基底上以不同溅射功率(60,90,120,150和180 W)沉积Al2O3薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜晶体结构和表面形貌进行分析表征,使用电化学工作站考察Al2O3薄膜的耐蚀性能.结果表明:所制备的Al2O3薄膜表面平整、均匀致密,并且在(217)面具有较好的择优取向;溅射功率对薄膜耐蚀性有较大影响,随溅射功率增加,耐蚀性先增强后减弱,在功率为150 W时所制备薄膜的耐蚀性能最优.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴坤尧	西安航空学院材料工程学院	16	9	1.0	2.0
2	孙乐	西安航空学院材料工程学院	9	11	2.0	3.0
3	鲁媛媛	西安航空学院材料工程学院	11	3	1.0	1.0
4	刘强	西安航空学院材料工程学院	14	5	1.0	2.0