基于ZnO薄膜光学温变特性的光纤布拉格光栅传感器

• 作者: 郭晓春
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体光学 光学温变特性 薄膜制备 ZnO 光纤光栅 测温原理 传感器
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 661-665
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.14
• 字数: 4824字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2020.05.006

摘要

ZnO薄膜具备吸收光谱的温变特性,可有效促进光纤布拉格光栅传感器的工作性能,因此设计了基于ZnO薄膜光学温变特性的光纤布拉格光栅传感器.选用高纯度的ZnO靶材在多功能多元镀膜系统中,通过Haruo Takashashi构建计算模型,设计具有光学温变特性的光纤布拉格光栅传感器.其中温度传感头通过将制备好的ZnO薄膜镀于蓝宝石三棱镜斜边面上,结合蓝宝石三棱镜、凸透镜以及光纤面,加强光源利用率,实现光纤布拉格光栅传感器的设计.实验结果表明,所设计的光纤布拉格光栅传感器的波长漂移量会随着ZnO薄膜热膨胀系数不断提高而增加,ZnO薄膜等效折射率大的波长漂移量要比等效折射率小的低;对比多种传感器性能后,发现所设计的传感器温测范围广、响应时间短、测量精准度高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭晓春	中国刑事警察学院基础教研部	8	7	2.0	2.0