FTO薄膜表面激光诱导制备ZnO纳米结构

• 作者: 李保家 李双双 王轶伦
• 来源期刊: 电镀与涂饰
• 学科: 工学
• 关键词: 掺氟二氧化锡薄膜 锌 磁控溅射 双氧水 激光辐照 氧化锌纳米结构 透光率 反射率
• 年，卷（期）: 2020,（15）
• 所属期刊栏目: 应用电化学
• 页码范围: 1010-1015
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 3741字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19289/j.1004-227x.2020.15.007

摘要

采用磁控溅射法在FTO(掺氟二氧化锡)玻璃基底表面沉积金属Zn层,再将其置于双氧水溶液中,通过纳秒脉冲激光对其表面进行辐照处理来实现ZnO纳米结构的制备.研究了激光能量密度和扫描速率对ZnO纳米结构的形成和得到的ZnO纳米结构复合FTO(ZnO/FTO)薄膜表面形貌和光电性能的影响.结果表明,当Zn层厚度为200 nm时,可保证FTO薄膜表面既出现完整的ZnO纳米结构,又仅有少量Zn剩余.当激光能量密度为0.80 J/cm2,扫描速率为15 mm/s时,FTO薄膜表面制备出了均匀一致性最好的ZnO纳米结构,此时ZnO/FTO薄膜有最佳的光电性能,其在400～800 nm波段的平均透光率为70.18％,平均反射率为7.10％,方块电阻为9.23Ω.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李保家	江苏大学材料科学与工程学院	17	45	4.0	6.0
2	李双双		2	4	1.0	2.0
6	王轶伦	江苏大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0