氩气流量对非平衡磁控溅射Ti/WS2复合薄膜结构和摩擦学性能的影响

• 作者: 叶军 王东峰 王景华 蔡海潮 薛玉君 韩江
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 非平衡磁控溅射 Ti/WS2复合薄膜 摩擦因数 流量
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 36-40,46
• 页数: 6页
• 分类号: TH117
• 字数: 3626字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2020.08.005

摘要

采用非平衡磁控溅射技术制备Ti/WS2复合薄膜.利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机分别对复合薄膜的微观形貌、成分、硬度以及摩擦磨损性能进行测试,研究氩气流量对Ti/WS2复合薄膜微观形貌和摩擦学性能的影响.结果 表明:随着氩气流量增加,Ti/WS2复合薄膜的疏松结构明显改善,薄膜致密度得到了提高,且Ti/WS2复合薄膜的(002)晶面择优取向增强;随着氨气流量的增加,Ti/WS2复合薄膜的摩擦因数呈现逐渐降低趋势,磨损率逐渐减小,且磨损机制由明显的磨粒磨损特征转变为轻微的磨粒磨损特征,呈现出较好的耐磨性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛玉君	河南科技大学机电工程学院	100	849	16.0	24.0
2	韩江	合肥工业大学机械工程学院	183	961	15.0	18.0
3	王景华		12	46	5.0	6.0
4	王东峰		4	1	1.0	1.0
5	蔡海潮	合肥工业大学机械工程学院	24	71	6.0	6.0
8	叶军	河南科技大学机电工程学院	4	10	1.0	3.0