原子力显微镜高精度微动扫描平台的设计

• 作者: 常诞 武兴盛 许军 金晨 马宗敏 魏久焱
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜(AFM) 高精度微动扫描平台 叠层压电陶瓷组 压电驱动 纳米级
• 年，卷（期）: 2020,（11）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 911-917
• 页数: 7页
• 分类号: TH742
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2020.11.009

摘要

原子力显微镜(AFM)是一种表征样品表面的物理化学信息的精密仪器,高精度微动扫描平台是整个测量与表征系统的关键部件,其性能直接影响整个测量系统的性能,因此对原子力显微镜的高精度微动扫描平台进行研究具有重要意义.为使高精度微动扫描平台实现毫米级的行程以及具有台面步进和扫描位移误差达到纳米级的精度,分别对平台上的剪切型压电位移平台和压电陶瓷扫描器进行了结构设计与仿真分析,并搭建实验系统,通过对平台进行测试实验验证,设计的原子力显微镜的高精度微动扫描位移平台剪切型压电陶瓷步进间距和压电陶瓷管扫描器的扫描位移误差为纳米级,分析结果显示该平台符合设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	武兴盛		3	1	1.0	1.0
2	魏久焱		3	1	1.0	1.0
3	马宗敏		16	19	2.0	3.0
4	常诞		2	0	0.0	0.0
5	许军		1	0	0.0	0.0
6	金晨		1	0	0.0	0.0