中国高端真空泵驱动电机及控制技术的现状和发展

• 作者: 孔祥玲 安跃军 李明 毕德龙 王光玉 邓文宇 齐丽君
• 来源期刊: 电机与控制应用
• 学科: 工学
• 关键词: 特种电机 高端装备 真空泵 电驱系统 控制系统
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 特约综述
• 页码范围: 1-8
• 页数: 8页
• 分类号: TM358
• 语种: 中文
• DOI: 10.12177/emca.2020.074

摘要

真空泵作为真空获得的重要设备,在电子芯片、大规模集成电路、精细化工、生物制药、光伏产业等领域受到了广泛关注及应用,其性能指标很大程度取决于驱动电机及其控制技术.介绍了真空泵驱动电机的基本种类与工作原理,总结了共性规律和个性特点,对其拓扑结构、冷却方式和智能控制等关键技术进行综述,分析了真空泵驱动电机在特殊工况条件下的控制策略问题.最后,对真空泵驱动电机及其控制系统的主要研究方向进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	安跃军		42	205	8.0	13.0
2	邓文宇		1	0	0.0	0.0
3	齐丽君		1	0	0.0	0.0
4	王光玉		1	0	0.0	0.0
5	孔祥玲		1	0	0.0	0.0
6	毕德龙		1	0	0.0	0.0
7	李明		3	13	2.0	3.0