平面型薄膜热流传感器及其静态特性标定研究

• 作者: 丁炯 叶树亮 杨遂军 王佳音 许启跃
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热流传感器 标定 温度外推法 热电堆
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 643-649
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3964字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2020.05.003

摘要

针对用于径向传热测量的热流传感器及其标定方法研究较少的问题,基于一维圆筒壁传热模型,设计并制备了一种具有自标定特征的平面型热电堆式薄膜热流传感器,提出了一种基于激光加热和温度外推原理的传感器静态特性标定方法,建立了有限元仿真模型,开展了传感器温度分布规律分析,设计了静态特性标定装置,完成了相应的标定实验.仿真结果显示,传感器沿径向温度分布符合圆筒壁稳态导热模型.实验结果表明,在40℃～100℃范围内,所制备的热流传感器塞贝克系数为5.6μV/℃～7.0μV/℃,数值和变化趋势与标准金铂热电偶接近.所标定的塞贝克系数可直接用于小范围内热流测量,同时在冷端温度已知条件下,该标定结果同样适用于大热流测量.研究结果将对于平面型薄膜热流传感器的制备和标定具有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶树亮	中国计量大学工业与商贸计量技术研究所	106	396	11.0	14.0
2	杨遂军	中国计量大学工业与商贸计量技术研究所	42	132	6.0	9.0
3	丁炯	中国计量大学工业与商贸计量技术研究所	14	36	3.0	5.0
4	王佳音	中国计量大学工业与商贸计量技术研究所	2	0	0.0	0.0
5	许启跃	中国计量大学工业与商贸计量技术研究所	9	12	2.0	3.0