小型辉光放电光谱分析系统的研制及应用

• 作者: 万真真 乔博仑 付新新 张闯 王永清
• 来源期刊: 高电压技术
• 关键词: 辉光放电光谱 CCD光谱检测 深度分析 射频 光谱强度
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 脉冲功率与放电等离子体
• 页码范围: 709-714
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.13336/j.1003-6520.hve.20190410019

摘要

辉光放电光谱分析仪器可直接分析固体样品,并可对样品表面进行沿深度方向的逐层分析,可用于材料表面成分分析、产品质量检验等研究领域.文中研究了一种小型辉光放电光谱系统,研制了辉光放电激发源,并采用射频电源驱动.采用AvaSpec-ULS2048型便携式CCD全光谱检测器,代替传统的多道分光检测系统,简化了仪器结构并减小了体积,更适合应用于小型的实验室和学校研究室等一些场合.通过实验确定了此系统分析铜基、铁基块状样品的最优工作参数,为射频功率50 W、氩气压强270 Pa.采用本系统对铜基、铁基块状样品进行了分析精密度实验,Cu基样品中的P、S、Al、Si元素测试结果的相对标准偏差值(RSD)均≤2.13％,Fe基样品中的Cu、C、Al、Si元素测试结果的相对标准偏差值(RSD)均≤2.08％.采用该系统对20.86 μm镀锌层样品进行了深度剖面分析,给出了Zn、Fe、C、P、Al、Si元素的光谱强度分析曲线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万真真		7	14	2.0	3.0
2	王永清		19	82	5.0	8.0
3	张闯		1	0	0.0	0.0
4	付新新		1	0	0.0	0.0
5	乔博仑		1	0	0.0	0.0