基于虚拟仪器的分子泵抽速自动测试软件设计

• 作者: 卢耀文 延峰 杨传森 梁西银 董云宁 赵博文 邵壮
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 分子泵 抽速测试 LabVIEW PID自整定
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 619-624
• 页数: 6页
• 分类号: TP242
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.07.05

摘要

针对当前分子泵抽速测试装置自动化程度低,压强实验点难以调节等问题,设计出一套分子泵抽速自动测试软件,以LabVIEW为软件开发平台,采用RS485通信实现对真空计、气体质量流量控制计、温度控制仪的数据采集和设备控制;采用PID控制方法调节气体质量流量控制计的通气量,实现对压强实验点的稳定控制;采用继电型PID参数自整定技术提高算法对系统的适应性、该软件提高了分子泵抽速测量工作中数据采集和压强调节的自动化程度,减少了人员操作对测量过程的影响,使测试过程更加科学规范,对分子泵抽速测试技术研究和应用具有一定参考价值.