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摘要:
对于板式PECVD设备而言,由于现有产线是针对M2硅片设计的,因此该类设备的宽度余量有限,而增大硅片的尺寸必定会减小单个载板的硅片数量.表10为目前占据主流市场的Meryer Burger公司的板式PECVD设备的参数.
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PECVD
减反射
氮化硅薄膜
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 2020年中国光伏技术发展报告——晶体硅太阳电池研究进展(3)
来源期刊 太阳能 学科
关键词
年,卷(期) 2020,(12) 所属期刊栏目 行业观察
研究方向 页码范围 5-8
页数 4页 分类号
字数 语种 中文
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1 中国可再生能源学会光伏专业委员会 11 0 0.0 0.0
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期刊影响力
太阳能
月刊
1003-0417
11-1660/TK
16开
北京市海淀区花园路3号
2-164
1980
chi
出版文献量(篇)
5613
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10
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