等离子-物理气相沉积(PS-PVD)及其射流非接触检测方法

• 作者: 刘梅军 李广荣 李长久 杨冠军
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子-物理气相沉积 沉积系统 非接触检测系统 光学发射光谱 输运机理 热防护涂层
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 专题——高温腐蚀与防护
• 页码范围: 前插1,1-16
• 页数: 17页
• 分类号: TG174.4
• 字数: 8273字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.01.001

摘要

等离子-物理气相沉积(PS-PVD)是制备高温防护涂层和功能涂层的一种新方法,既可涵盖等离子喷涂和电子束物理气相沉积工艺,还可实现涂层宏观/介观/微观等跨尺度结构的定制化设计与制备,在热障涂层(TBCs)、环境障涂层(EBCs)、环境热障涂层(TEBCs)、透氧薄膜、燃料电池和太阳电池电极薄膜等领域具有广泛应用前景,尤其在航空发动机和燃气轮机防护涂层领域被视为高性能TBCs/EBCs制备技术发展的新方向.比较分析了PS-PVD等离子射流膨胀流动、材料快速加热气化离化和长距离多模式输运沉积的全流程过程,介绍了PS-PVD原理与设备系统,面向等离子射流参数快速无损检测分析的目标,建立了基于光学发射光谱学(OES)的等离子射流和材料特性非接触式检测与诊断装备系统,发展了射流和材料特性参数的定量表征和精确诊断方法.依据电子数密度等检测结果,进一步计算分析等离子温度分布规律.基于射流与材料检测结果,研究了粉末材料在等离子射流中的多相态转变行为,归纳了调控沉积单元多相态转变的工艺控制参数集.这些硬件平台和表征检测方法的建立,为构建PS-PVD理论和研制新型高性能热防护涂层提供了坚实的理论基础和必要的条件支撑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李长久		66	688	16.0	23.0
2	杨冠军		29	234	9.0	14.0
3	李广荣		6	4	1.0	2.0
4	刘梅军		6	1	1.0	1.0