硅片表面纳米颗粒剥离及其成分检测方法研究

• 作者: 余晓娅 刘立拓 周维虎 王春龙 石俊凯 陈晓梅 黎尧
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 纳米颗粒运动模型 激光诱导击穿光谱 激光清洗机理 成分检测
• 年，卷（期）: 2020,（16）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 175-182
• 页数: 8页
• 字数: 3569字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.69.20200517

摘要

硅片表面纳米级污染颗粒的检测与去除是集成电路制造(Integrated Circuit,IC)的关键环节.本文主要对纳秒级脉冲激光作用至硅片表面后纳米颗粒的动力学过程及颗粒成分在线检测方法进行了研究.搭建了双脉冲激光测量实验系统,并通过实验对300 nm Cu颗粒进行了双脉冲激光实验观测,通过分析表征颗粒运动轨迹的击穿光谱特征,从实验上观测到了清洗激光作用后颗粒沿垂直硅片表面向上的运动轨迹.在综合考虑空气碰撞阻力、颗粒重力的影响下,建立了激光清洗后颗粒的运动模型,并与实验相结合求解了运动模型参数,计算获得了清洗激光作用后颗粒的初始速度和激光作用时间内颗粒的平均加速度.本文为激光诱导晶圆表面纳米颗粒去吸附以及激光至纳米颗粒动力学过程研究提供了一种模型方法,也为集成电路污染源在线检测提供了一种重要方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周维虎	中国科学院微电子研究所光电技术研究中心	69	454	12.0	18.0
2	陈晓梅	中国科学院微电子研究所光电技术研究中心	3	0	0.0	0.0
3	刘立拓	中国科学院微电子研究所光电技术研究中心	11	12	2.0	3.0
4	石俊凯	中国科学院微电子研究所光电技术研究中心	8	12	1.0	3.0
5	黎尧	中国科学院微电子研究所光电技术研究中心	5	10	1.0	3.0
6	余晓娅		2	0	0.0	0.0