MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究

• 作者: 侯晓伟 刘莉娜 吕阳 张丛春 郑良广
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铂电阻 温度传感器 微机电系统 热处理 电阻温度系数
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 825-829
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.11
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2020.06.007

摘要

采用MEMS工艺在硅衬底上制备了铂电阻薄膜温度传感器,在500℃、600℃、700℃和800℃四个温度点下对铂电阻样品进行了热处理,对样品在退火前后的电阻值进行了测试和对比分析.对800℃的退火样品的阻温特性进行了多次测量,其在零摄氏度的电阻温度系数可达3150×10-6/K.另外还对退火后的铂电阻样品阻温特性进行了多次升温降温测试,其升温曲线和降温曲线基本重合,表明退火处理可以明显的改善铂薄膜温度传感器的稳定性和重复性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张丛春		6	9	2.0	2.0
2	侯晓伟		1	0	0.0	0.0
3	刘莉娜		1	0	0.0	0.0
4	吕阳		1	0	0.0	0.0
5	郑良广		1	0	0.0	0.0