卷对卷化学蚀刻工艺

• 作者: 朱万宇 黄皓
• 来源期刊: 电镀与涂饰
• 学科: 工学
• 关键词: 化学蚀刻 卷对卷 自动化 管控
• 年，卷（期）: 2020,（13）
• 所属期刊栏目: 镀覆技术
• 页码范围: 841-843
• 页数: 3页
• 分类号: TN41
• 字数: 2477字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19289/j.1004-227x.2020.13.007

摘要

介绍了一种自动化的卷对卷化学蚀刻工艺,主要包含表面清洁、贴膜、模切、排废、蚀刻和撕膜六大工序,介绍了各工序的控制要点和质量管控事项.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄皓		3	1	1.0	1.0
2	朱万宇		2	0	0.0	0.0