基于直角坐标式洁净室接驳通道启动与制动过程研究

• 作者: 方羽琛 郑辰双 杨志成
• 来源期刊: 仪表技术
• 关键词: 直角坐标 接驳通道 控制系统
• 年，卷（期）: 2020,（11）
• 页码范围: 36-38,41
• 页数: 4页
• 分类号: TP23
• 语种: 中文

摘要

简述了洁净室内污染源的种类,进一步分析了直角坐标式接驳通道快速清除移动污染源的工作原理.因为直角坐标式接驳通道启动、制动过程对接驳效果影响较大,所以对接驳管道的结构组成、数学模型、控制原理进行了研究,并给出了接驳通道启动与制动的硬件软件设计.通过实验接驳通道启动与制动效果良好,达到较好的控制效果.