垂直双扩散金属-氧化物半导体场效应晶体管电学法热阻测试中测试电流的研究

• 作者: 吕贤亮 周钦沅 李旭 黄东巍
• 来源期刊: 电气技术
• 关键词: 垂直双扩散金属-氧化物半导体场效应晶体管器件 电学法热阻 测试电流 测试延迟时间 校温曲线
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 28-32,39
• 页数: 6页
• 字数: 2532字
• 语种: 中文

摘要

本文针对垂直双扩散金属-氧化物半导体场效应晶体管器件电学法热阻测试的关键参数——测试电流的影响因素进行研究,测试电流选择恰当与否是热阻测试的先决条件.通过理论分析和三款典型垂直双扩散金属-氧化物半导体场效应晶体管器件的试验验证,得出一种通过测试电流自升温、测试延迟时间及校温曲线这3个方面有效确定垂直双扩散金属-氧化物半导体场效应晶体管器件电学法热阻测试时测试电流的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄东巍	中国电子技术标准化研究院基础产品研究中心	10	7	1.0	2.0
2	李旭	中国电子技术标准化研究院基础产品研究中心	11	10	2.0	3.0
3	吕贤亮	中国电子技术标准化研究院基础产品研究中心	6	2	1.0	1.0
4	周钦沅	中国电子技术标准化研究院基础产品研究中心	2	1	1.0	1.0