应用波像差理论计算Kirkpatrick-Baez系统的调制传递函数

• 作者: 余承昊 吕丽军
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 调制传递函数 波像差理论 Kirkpatrick-Baez系统
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 光电系统与工程
• 页码范围: 904-910
• 页数: 7页
• 分类号: TN201|O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO202041.0501005

摘要

调制传递函数(modulation transfer function,MTF)曲线可以客观地评价光学系统的成像性能.基于平面对称光学系统的波像差理论,给出了Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜光学系统主要像差的波像差计算表达式,采用自相关法,通过Gauss-Legendre数值积分求解并绘制了KB系统的MTF曲线,且与光学分析软件的MTF曲线进行对比.结果 表明:应用波像差理论计算调制传递函数不仅可以定量直观地分析KB系统的成像性能,而且能进一步解析光学系统的单项像差分布情况,提供更具针对性的系统优化方案.