一种低损耗硅基MZ电光调制器的驱动电极设计

• 作者: 何卫锋 刘永超 纪鹏飞
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: 电光调制器 高速行波电极 趋肤效应 损耗
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 页码范围: 13-17
• 页数: 5页
• 分类号: TN929.5
• 语种: 中文

摘要

为了满足高数据带宽的硅光互联应用要求,高速硅光调制器的设计至关重要.本文基于IMEC的硅光子SOI工艺,提出了一种低损耗高带宽的行波MZ调制器的驱动电极.在详细分析了趋肤效应、行波损耗、邻近效应等物理效应对行波电极信号完整性的影响的基础上,通过在行波电极上增加一定宽度的顶层金属的方法,使MZ调制器的低频损耗降低了13％,高频损耗降低了5％,并使电光调制3 dB带宽提高至28 GHz.