金刚石线切割太阳能硅片高效节能型清洗剂的制备及清洗效果研究

• 作者: 马瑾
• 来源期刊: 化学工程师
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石线 太阳能硅片 高效节能 清洗剂
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 科研与开发
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 2266字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16247/j.cnki.23-1171/tq.20200212

摘要

研制一种用于工业生产中太阳能级硅片的高效节能型清洗剂,适用于金刚石线切割后的硅片表面清洗处理.该清洗剂溶液低泡、呈碱性,能够有效的去除硅片表面的金属离子、各种有机污染物,对硅片损伤小,清洗效率高,节省水资源,操作方便,清洗剂综合效果明显优于现有市售清洗剂.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾		25	21	3.0	3.0