薄膜热电偶研究进展

• 作者: 林振钰 张志杰 李岩峰 刘佳琪
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜热电偶 塞贝克系数 温度测量 退火 动态测试 标定
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 技术论坛
• 页码范围: 963-969,1004
• 页数: 8页
• 分类号: TP212.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2020.12.002

摘要

综述了薄膜热电偶的国内外研究进展与热点,对近年来薄膜热电偶在各领域的典型应用结果进行了总结.重点阐述了薄膜热电偶的敏感材料种类、制备工艺对其热电性能和高温稳定性的影响,讨论了国内外研究中退火环境、氮气含量、材料掺杂水平等工艺参数及喷涂处理、丝网印刷等新兴制备方法对薄膜热电偶热电性能的影响,对目前薄膜热电偶测试校准技术的研究现状进行了简单阐述.最后,指出薄膜热电偶当前亟需研究的问题,并对该领域的未来发展方向进行了展望,可为应用于恶劣环境的高温薄膜传感器的技术研究提供参考.