压电谐振式真空传感器及真空计的发展现状及其展望

• 作者: 宋国庆 王万生 王伟 邵志强 邹向光
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 真空传感器 真空计 压电谐振 弯曲振动 音叉
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 4-8
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 6563字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2020)08-0004-05

摘要

评述了真空计的主要类型、结构、压电谐振式真空传感器(PRVS)工作机制、特点、应用、关键技术、技术不足和其发展现状,并根据目前某些关键技术的突破,梳理了单体式、组合式压电谐振式真空计的成果.按照对国内、外文献的技术跟踪和市场的调研,对PRVS的发展趋势进行了初步预测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王伟	中国电子科技集团公司第四十九研究所	102	238	8.0	12.0
2	宋国庆	中国电子科技集团公司第四十九研究所	6	22	3.0	4.0
3	邹向光	中国电子科技集团公司第四十九研究所	9	24	3.0	4.0
4	王万生	中国电子科技集团公司第四十九研究所	7	4	1.0	1.0
5	邵志强	中国电子科技集团公司第四十九研究所	4	1	1.0	1.0