金属薄膜厚度测量技术分析

• 作者: 朱小平 李加福 杜华 王凯 赵沫
• 来源期刊: 计量技术
• 关键词: 金属薄膜 厚度测量 量值统一
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 工业计量
• 页码范围: 62-65,50
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2020.07.17

摘要

金属薄膜广泛应用于航空航天、车辆交通、半导体和微电子等领域,对其厚度准确性和均匀性的测量成为评价薄膜功能和质量的重要手段.总结了金属覆盖膜和自支撑薄膜厚度的常用测量方法,包括X射线荧光法、接触式轮廓法、激光共焦显微法、白光干涉显微法以及光谱共焦法,重点分析了它们的优缺点,发现尽量减小厚度测量原理性误差、提高薄膜密度测量的准确性有助于实现X射线荧光法与其他薄膜厚度测量方法的量值统一,为薄膜厚度测量技术的溯源提供了新的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱小平		29	142	6.0	11.0
2	杜华		33	201	8.0	12.0
3	王凯		6	19	2.0	4.0
4	李加福		14	44	5.0	6.0
5	赵沫		1	0	0.0	0.0