氮气流量比对CrN涂层结构及摩擦磨损性能的影响

• 作者: 卢帅 孟德章 王砚军 高鹏远
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 直流磁控溅射 CrN涂层 氮气流量比 微观形貌 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 90-94
• 页数: 5页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 3464字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2020.06.014

摘要

采用直流磁控溅射技术在不同氮气流量比下在YG6基体上制备CrN涂层,通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)及能谱仪(EDS)分析涂层相组成、涂层形貌与涂层元素成分,利用数字式显微硬度仪、划痕仪测定涂层硬度与涂层结合力,在摩擦磨损试验机考察涂层摩擦学性能.结果 表明:氮气流量比(氮气流量占气体总流量的比例)为20％、30％时,CrN/YG6涂层结构相对疏松,呈柱状生长;氮气流量比为40％、50％时,CrN/YG6涂层结构较致密,呈三角颗粒状生长;随氮气流量比增大,涂层硬度先增大后减小,当氮气流量比为40％时达到最大值HV1 752.5;CrN涂层的摩擦因数随氮气流量比的增大变化不大,但磨损率先增大后减小再增大,当氮气流量比为40％时达到最小值2.03×10-8mm3/ (N·mm).研究表明,当氮气流量比为40％时,所制备的CrN涂层具有良好的综合性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王砚军	济南大学机械工程学院	40	262	9.0	14.0
2	卢帅	济南大学机械工程学院	3	2	1.0	1.0
3	孟德章	济南大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0
4	高鹏远	济南大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0