阵列波导光栅解复用器的偏振相关损耗的优化

• 作者: 单崇新 吴卫锋 吴远大 孙健
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光通信 阵列波导光栅 解复用器 偏振相关损耗
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 光纤光学与光通信
• 页码范围: 227-231
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202047.0106003

摘要

对硅基二氧化硅阵列波导光栅解复用器(AWG DEMUX)的偏振相关损耗(PDL)进行了优化.理论分析了引起AWG偏振相关性的物理因素以及消除偏振相关性的工艺方法和条件.利用化学气相沉积、光刻和刻蚀等半导体工艺制备了AWGDEMUX芯片,并结合理论分析对包层材料中的硼(B)、磷(P)含量进行了优化调整,成功地将芯片的PDL降低至0.12 dB,使PDL参数满足芯片的商用化需求.