激光辐照对Ag/AZO双层复合透明导电薄膜性能的影响

• 作者: 任乃飞 张耀 李保家 王伟正 赵磊
• 来源期刊: 电镀与涂饰
• 学科: 工学
• 关键词: 掺铝氧化锌 透明导电玻璃 银 复合薄膜 磁控溅射 激光辐照 能量密度 光电性能
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 表面技术
• 页码范围: 749-754
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 3789字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19289/j.1004-227x.2020.12.003

摘要

通过磁控溅射在掺铝氧化锌(AZO)透明导电玻璃表面沉积了10 nm厚的Ag层,得到Ag/AZO双层复合透明导电薄膜,然后利用532纳秒脉冲激光器对其进行辐照处理.考察了激光能量密度对薄膜形貌、结构及综合光电性能的影响.考察了激光辐照处理后Ag/AZO双层复合透明导电薄膜的方块电阻、透光率、反射率及品质因子,并通过扫描电镜和X射线衍射仪分析了它们的表面形貌和晶体结构.结果表明,当激光能量密度为0.6 J/cm2时,薄膜的方块电阻为9.26Ω,在400～800 nm波段的平均透光率为88.38％,平均反射率为11.69％,品质因子为3.14×10?2Ω?1,表现出最优的综合光电性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任乃飞	江苏大学机械工程学院	62	368	11.0	17.0
2	赵磊	江苏大学机械工程学院	6	80	2.0	6.0
3	李保家	江苏大学材料科学与工程学院	17	45	4.0	6.0
4	张耀	江苏大学机械工程学院	3	2	1.0	1.0
5	王伟正	江苏大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0