钢带表面蒸镀钛膜试验研究

• 作者: 李俊翰 孙宁 邹宇 赖奇 廖先杰 马兰 杨绍利
• 来源期刊: 钢铁钒钛
• 学科: 工学
• 关键词: 钢带 钛膜 蒸镀 电子束
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 钒钛材料与应用
• 页码范围: 77-80
• 页数: 4页
• 分类号: TF823|TG174.44
• 语种: 中文
• DOI: 10.7513/j.issn.1004-7638.2020.05.013

摘要

采用电子束真空蒸镀法,通过改变走带速度在钢带表面蒸镀沉积钛膜.采用XRD、FIB、划痕试验等方法对钛膜的物相组成及结构、截面形貌、膜基结合力进行了研究.结果表明:钛膜的晶体结构为密排六方结构,在不同走带速度下均呈现出强烈的(002)晶面择优取向.当走带速度由1 m/min提高到4 m/min时,钛膜的膜厚由744.7 nm提高到855.9 num,膜基间的结合力呈快速下降后趋于平缓的态势,本试验范围内的最大结合力为24.78 N.