一种原子气室制备碱金属充制工艺设备的研制

• 作者: Gao Xingmin Shevchenko.O.V. 冯浩 刘立美 王华栋 高炳天
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 原子气室 碱金属 真空充制 工艺设备
• 年，卷（期）: 2020,（11）
• 页码范围: 1050-1053
• 页数: 4页
• 分类号: TH6
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.11.09

摘要

原子气室是新型量子仪表如量子频标和量子传感器等的核心部件,在其制备过程中,碱金属真空充制设备和充制质量控制是工艺和技术难点之一.运用麦克斯韦速率分布规律和Langmuir物质蒸发与凝结理论,研制了一种原子气室制备过程中碱金属充制的自动化控制工艺设备.实现了碱金属充制过程量化控制.经铷泡充制实验验证,充铷量在500±100 μg以内的铷泡占已所充铷泡的比率由35％提高至73％;离散度由±550减小至±250 μg.该技术和设备可用于原子气室批量制备,具有广泛的应用推广价值.