驱动电压对纳米结构NixOy薄膜电致变色性能的影响

• 作者: 候朝霞 张钧 文哲 王美涵 马佳玉 黄奕博
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: NixOy薄膜 磁控溅射 掠射角 电致变色 驱动电压
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术
• 页码范围: 3182-3188
• 页数: 7页
• 分类号: TB34
• 字数: 4707字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2020.03.028

摘要

采用掠射角直流反应磁控溅射法制备了膜厚约480 nm的NixOy薄膜.利用场发射扫描电子显微镜和能谱仪对N ix O y薄膜的表面和断面形貌及化学组成进行了表征;利用电化学工作站和紫外分光光度计对N ix O y薄膜进行了不同驱动电压下循环伏安特性、光学调制幅度、光密度变化以及致色效率的测试;通过改变扫描速度,经线性拟合后计算得到离子扩散速率;从计时电流曲线,获得薄膜致/褪色响应时间.研究表明,80°掠射角溅射沉积的N ix O y薄膜表面形貌疏松多孔,断面为斜柱状结构,为离子与电子的注入/抽出提供了较大的比表面积;NixOy薄膜的电化学容量和离子扩散速率在±1.2 V驱动电压下得到了显著提高,从而使薄膜展现出优良的光调制幅度和致色效率.同时,薄膜还表现出良好的循环稳定性和快速响应的特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张钧	沈阳大学机械工程学院	49	208	8.0	12.0
2	王美涵	沈阳大学机械工程学院	31	76	5.0	7.0
3	马佳玉	沈阳大学机械工程学院	3	3	1.0	1.0
4	文哲	沈阳大学机械工程学院	3	3	1.0	1.0
5	黄奕博	沈阳大学机械工程学院	3	3	1.0	1.0
6	候朝霞	沈阳大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0