CT球管阳极靶盘循环加热除气装置研制

• 作者: 董银杏 边悦 邱添
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: CT球管 阳极靶盘 高真空系统 中频线圈 循环加热 PLC 伺服电机
• 年，卷（期）: 2020,（11）
• 页码范围: 1085-1089
• 页数: 5页
• 分类号: TG155.2+1|TB79
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.11.16

摘要

针对CT球管阳极靶盘生产企业现有靶盘加热除气设备效率低下的问题,北方华创真空技术有限公司设计了CT球管阳极靶盘循环加热除气装置.该装置配有四个相同的石英钟罩工位,各工位共享一套分子泵高真空系统,并且改进了装载工具的结构以增加单个工位中的工件数量.根据用户脱气工艺曲线的加热和冷却时间的特点,选择使用PLC驱动伺服电机来精确控制中频线圈的运动,以便中频线圈可以周期性地循环加热不同位置的工件,从而形成了紧凑的生产节拍,大大提高了生产效率,目前已获得了行业用户的广泛认可.