不同安装模态对嵌入式时栅测量误差的影响

• 作者: 何泽银 周清松 孙世政 韩宇
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 嵌入式时栅传感器 安装模态 安装误差 测量精度
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2290-2300
• 页数: 11页
• 分类号: TH712
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/OPE.20202810.2290

摘要

为提高嵌入式时栅传感器测量精度,对不同安装模态下测量精度进行了表征.从嵌入式时栅传感器传感机理出发,分析了安装气隙变化、径向安装偏差和轴向安装偏差对传感器测量精度的影响规律,建立了不同安装模态的误差模型.对传感器不同安装模态进行了模拟仿真与实验验证.仿真与实验结果表明:不同安装模态均会影响传感器测量精度,其中径向安装对传感器测量误差影响最大,气隙间距变化对传感器测量误差影响其次,轴向安装对传感器测量误差影响最小;三种安装模态对测量误差的影响均体现在对一次和二次误差的影响上;在气隙间距为0.2 mm无径向与轴向安装偏差时嵌入式时栅测量误差峰峰值为100.8″.本研究对指导嵌入式时栅传感器安装,降低安装误差,提升测量精度具有重要的理论与现实意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何泽银		17	14	2.0	3.0
2	孙世政		13	6	1.0	2.0
3	周清松		2	0	0.0	0.0
4	韩宇		1	0	0.0	0.0