一种小型离子泵电源的设计

• 作者: 吴晓勇 张扬 蔡龙 陈智勇
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真空 离子泵电源 开关电源 溅射离子泵
• 年，卷（期）: 2020,（11）
• 页码范围: 1109-1113
• 页数: 5页
• 分类号: TN107
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.11.20

摘要

真空行业的迅速发展对离子泵电源提出了新的需求与挑战,小型轻量、智能控制和节能高效的离子泵电源将成为行业发展趋势.本文提出了一种通用性强的小型离子泵电源的设计方案,介绍了系统组成与拓扑结构,给出了电路参数计算和分析说明,并对该电源进行工程上的测试验证.实践表明,该电源能适配多种型号的离子泵,工作稳定可靠.