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安德科铭引领电子级ALD前驱体材料的突围
安德科铭引领电子级ALD前驱体材料的突围
作者:
张麟
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
摘要:
芯片被称作信息时代的基础,先进芯片被广泛应用于3C产品、工业、航空航天及军事装备领域,不仅关系到社会进步和我们每个人的生活,更关系到国家安全和发展.
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文献信息
篇名
安德科铭引领电子级ALD前驱体材料的突围
来源期刊
创业邦
学科
关键词
年,卷(期)
2020,(8)
所属期刊栏目
快鲤鱼
研究方向
页码范围
67-68
页数
2页
分类号
字数
语种
中文
DOI
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
创业邦
主办单位:
湖南大学
出版周期:
月刊
ISSN:
1674-3601
CN:
43-1489/F
开本:
16开
出版地:
长沙市岳麓区湖南大学期刊社
邮发代号:
80-927
创刊时间:
2007
语种:
chi
出版文献量(篇)
3420
总下载数(次)
2
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