TiO2薄膜型气敏传感器研究进展

• 作者: 张冶 李公义 李国臣 楚增勇 金嘉炜
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: TiO2 纳米薄膜型 气敏传感器 传感性能 传感机理
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 28-38
• 页数: 11页
• 分类号: O6-1
• 语种: 中文
• DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2019.000515

摘要

TiO2纳米薄膜型气敏传感器具有制备方法简单、灵敏度高、一致性好、小型化等优点,且由于T iO2半导体的宽能带使其能够通过涂覆修饰其他元素使传感器性能得到大幅度提高,如今已经越来越受到研究者们的广泛关注.本文综述了当前国内外TiO2气敏传感器的研究进展,重点介绍了TiO2薄膜型气敏传感器在H2,NH3,H2S,VOC,CO,SO2六种常见还原性气体和CO2,Nox两种常见氧化性气体检测方面的应用,就其传感性能、传感机理进行了讨论,并展望了T iO2薄膜型气敏传感器研究的未来发展趋势,如通过向T iO2中掺杂导电微粒、贵金属或金属氧化物等以改良其性能,以期为新型气敏传感器的研究提供参考.