混合气体射频热等离子体温度及流场分布的数值模拟

• 作者: 陈文波 陈伦江 刘川东 程昌明 童洪辉 朱海龙
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 混合气体 射频热等离子体 温度分布 流场分布
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 页码范围: 1124-1130
• 页数: 7页
• 分类号: TB126
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.12.03

摘要

研究混合气体射频热等离子体的温度及流场分布可以为等离子体炬在特定场合下的应用提供参考.本文建立了射频热等离子体炬的物理模型,利用FLUENT软件分别对线圈电流不同时,纯氩气、氩-氧气、氩-氮气、氩-空气及氩-氢气等离子体的温度及流场空间分布进行了研究.研究结果表明:与纯氩等离子体相比,混合气体等离子体的体积减小,核心温度降低,但等离子体速度则会有所提升;提高线圈电流能够使混合气体等离子体的体积增大,且速度和温度均有一定程度的提高.