微纳米光学测量的严格耦合波分析方法

• 作者: 张树 施玉书 李伟 李琪 李适 高思田 黄鹭
• 来源期刊: 计量科学与技术
• 关键词: 微纳尺度 光学测量 傅里叶空间 严格耦合波 二维周期结构
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 测量方法研究
• 页码范围: 3-6,11
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2096-9015.2020.12.01

摘要

在微纳米尺度光学测量领域中,严格耦合波(RCWA)方法将光看作空间传播的电磁波,然后应用麦克斯韦方程组电磁边界连续条件,求解电磁波前向和后向衍射模型,并测量对应的透射和反射.在RCWA仿真中,首先对被测对象应用分层电磁模型,划分成多层不同几何尺寸及介电常数叠加结构,然后应用传输矩阵法计量不同衍射级数的电磁场,最后对空间电场和磁场分量进行合成,从而得到纳米几何结构准确的衍射场.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	李伟		27	92	5.0	8.0
3	施玉书		35	121	5.0	8.0
4	李琪		21	48	4.0	5.0
5	黄鹭		13	16	2.0	3.0
6	李适		11	25	3.0	4.0
7	张树		6	6	1.0	2.0