多晶硅棒等级分类测量系统分析

• 作者: 张桂芸
• 来源期刊: 科技创新与生产力
• 关键词: 多晶硅棒 等级分类 测量系统分析
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 分类号: TM914.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-9146.2020.04.044

摘要

不同类型的多晶铸锭,其硅棒的质量存在较大差异,按照多晶硅棒等级分类标准对硅棒等级进行分类有利于产品质量的管控和改进提升.为了验证多晶硅棒等级分类测量系统的准确性,应用测量系统分析技术对多晶硅棒等级分类测量系统进行了分析,对测量系统中的效率、错误报警概率、错过概率、偏差概率进行了评价,验证了测量系统的有效性,同时也为企业绩效考核提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张桂芸	中国电子科技集团公司第二研究所	5	4	1.0	2.0