10 cm×10 cm Bulk Micromegas探测器的研制

• 作者: 于伟翔 刘雯迪 周静 张昀昱 智宇 李沛玉 李笑梅 胡守扬 贾世海 赵明锐 陈雷
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: Bulk Micromegas APV25 光蚀刻技术 前端电子学
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 先进气体探测器专栏
• 页码范围: 961-967
• 页数: 7页
• 分类号: O572.21
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/yzk.2020.youxian.0221

摘要

Bulk Micromegas探测器是一种新型微结构气体探测器.利用光蚀刻技术制作了有效面积为10 cm×10 cm的多通道Bulk M icromegas探测器.对探测器的各通道进行了电容测试,显示探测器具有较好的均匀性.在Ar+10％CO2气体中,使用55 Fe放射源和自主研制的基于APV25前端卡的数字化电子学,对制作的有效面积为10 cm×10 cm的探测器进行了测试,其结果显示探测器性能良好,能得到清晰的二维事件分布图.该探测器目前全部工艺国产化,并能进行批量生产,成品率接近100％.