还原氮化法制备氮化铌薄膜及性能研究

• 作者: 吴振刚 吴明明 张晓琳 李润康 王学沛 裴媛 陈颖 魏恒勇 魏颖娜
• 来源期刊: 江苏陶瓷
• 关键词: 氮化铌 薄膜 氨气还原氮化法
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 学术研究
• 页码范围: 48-50,54
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

以五氯化铌为原料,采用氨气还原氮化法制备出Nb4N5薄膜.利用XRD、SEM、UV-VIS-NIR和RAMAN测试手段研究了薄膜组成、形貌和表面增强拉曼光谱性能.结果 表明,薄膜中Nb4N5的结晶程度高,物相较纯没有出现其他的杂质,薄膜表面裂纹较少,颗粒粒径40 nm,膜厚210 nm,所合成的Nb4N5薄膜吸收光谱中在300～500 nm出现了等离子体共振吸收峰,红外区域反射率高于30％,薄膜方块电阻为552 Q/口,并具有较好的SERS活性.