齿轮材料20CrMnTi的飞秒激光烧蚀特征

• 作者: 周贤 明兴祖 明瑞 林嘉剑 肖勇波 金磊
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光加工 螺旋锥齿轮 能量耦合模型 能量密度 烧蚀特征
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 激光与激光光学
• 页码范围: 73-82
• 页数: 10页
• 分类号: TN24
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20204912.1214002

摘要

研究了螺旋锥齿轮材料20CrMnTi的飞秒激光烧蚀机理,以及单脉冲飞秒激光在不同能量密度下的齿面烧蚀特征.考虑材料的能量动态吸收效应和光子-电子-晶格系统的相互耦合作用,建立能量耦合模型,仿真得到烧蚀齿轮材料的能量密度至少为67 mJ/cm2,材料去除区域发生在烧蚀深度40 nm以内.实验结果表明,齿面温度超过齿轮材料的气化温度后,齿面能够保持良好的烧蚀形貌,粗糙度的变化值小于0.021μm,验证了理论仿真的有效性.研究结果可为提高飞秒激光精微加工螺旋锥齿轮的齿面质量提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	明兴祖		57	258	10.0	14.0
2	金磊		5	3	1.0	1.0
3	明瑞		11	8	2.0	2.0
4	肖勇波		1	0	0.0	0.0
5	林嘉剑		1	0	0.0	0.0
6	周贤		1	0	0.0	0.0