超薄钛沉积石墨烯基传感器室温氨气响应性能研究

• 作者: 刘桂英 纪捷先 褚卫国 赵珉
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨烯基气体传感器 NH3气体 室温检测 灵敏度 恢复性能 钛沉积
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1412-1418
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2020.10.006

摘要

本征石墨烯气体传感器(Gr器件)对NH3气体的室温响应非常微弱,为此本文采用电子束蒸镀方法在原器件沟道区域分别沉积3 nm、5 nm和10 nm的薄层金属Ti,形成三种Ti/Gr器件.实验发现Ti/Gr器件在黑暗条件下对NH3气体的室温响应灵敏度远高于Gr器件;而引入可见光照射使三种Ti/Gr器件的响应灵敏度进一步提高,同时恢复性也得到一定提升.其中,5 nm Ti/Gr器件获得最佳的性能提升,对通入3 min 400×10-6 NH3的灵敏度达+17.9％,恢复时间为3 min.通过XPS分析,发现不同Ti/Gr器件沟道处所沉积的薄层Ti发生不同程度的氧化,生成包含不同价态成份的钛氧化物,导致特定Ti层厚度的Ti/Gr器件具有最佳性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵珉		1	0	0.0	0.0
2	褚卫国		6	5	2.0	2.0
3	纪捷先		1	0	0.0	0.0
4	刘桂英		1	0	0.0	0.0