应用于MEMS加速度计的电容式检测电路设计

• 作者: 代志双 徐亮 谢亮 金湘亮
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 低噪声 高动态范围 微系统(MEMS)加速度计 电容自适应校准 相关双采样 斩波技术
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 77-80
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2240字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2020)05-0077-04

摘要

基于相关双采样、斩波技术以及电容自适应校准技术,设计了一种低噪声、高动态范围的全差分电容式微系统(MEMS)加速度计检测电路.在检测电路感应电容中采用电容自适应校准技术,消除电容失配,提高检测范围;在开关电容低通滤波器中加入斩波,降低滤波器噪声;控制滤波器时序,消除电荷注入引起的非线性.在5 V电源供电下,仿真结果表明:检测电路输出线性电压范围为±3 V,在0.01～300 Hz范围内,等效输出噪声为650 nV,检测动态范围高于120 dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢亮	湘潭大学物理与光电工程学院	28	44	4.0	4.0
3	金湘亮	湘潭大学物理与光电工程学院	50	124	6.0	8.0
9	徐亮	湘潭大学物理与光电工程学院	2	1	1.0	1.0
13	代志双	湘潭大学物理与光电工程学院	2	1	1.0	1.0