一种亚微米压电柔性微动系统设计及性能分析

• 作者: 张传伟 李妞妞 杨满芝 葛红玉 许可俊 郭卫
• 来源期刊: 机械传动
• 关键词: 亚微米 压电致动器 柔性 微驱动系统
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 设计计算
• 页码范围: 68-72
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.16578/j.issn.1004.2539.2020.06.012

摘要

为获得精密直线运动输出,设计一种压电柔性微驱动系统,系统由压电致动器及柔性微动机构组成,在压电致动器驱动下系统具有亚微米级定位精度.基于柔性铰链导向、传动原理,设计了一种精密柔性微动机构,在此基础上提出了压电柔性微驱动系统设计方案.采用有限元法对系统进行了运动学分析、强度分析、动态分析,分析结果显示,系统具有定位精度高(最大定位误差为0.24μm)、强度性能好、动态性能优良等优势.研究对微驱动系统研究及应用具有一定的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张传伟	西安科技大学机械工程学院	81	430	12.0	17.0
2	郭卫	西安科技大学机械工程学院	138	686	13.0	19.0
3	李妞妞	西安科技大学机械工程学院	4	6	1.0	2.0
4	杨满芝	西安科技大学机械工程学院	8	10	2.0	3.0
5	许可俊	西安科技大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0
6	葛红玉	西安科技大学机械工程学院	7	2	1.0	1.0