不锈钢、铝、铜合金表面超厚类金刚石薄膜的制备及其摩擦学性能研究

• 作者: 张广安 李安 王云锋 陈庆春
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: 不锈钢 铝合金 铜合金 超厚类金刚石薄膜 制备 磨擦学性能
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺探讨
• 页码范围: 63-67,74
• 页数: 6页
• 分类号: TH117
• 语种: 中文

摘要

为了提高不锈钢、铝、铜合金的使用寿命及应用范围,采用等离子体增强化学气相沉积技术在3种不同基底上沉积超厚类金刚石(DLC)薄膜(28.3 μm).利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、纳米压痕仪、划痕仪、球-盘摩擦试验机等表征方法对沉积在不锈钢、铝、铜合金表面上的超厚DLC薄膜进行性能测试分析.结果 表明:铜合金基底上的超厚DLC薄膜由于其内应力过大出现部分剥落,不锈钢、铝合金基底上所制备的超厚DLC薄膜结构致密、膜基结合界面良好;不锈钢、铝、铜合金与碳的晶格不匹配性依次变大导致超厚DLC薄膜硬度与结合力依次变差.摩擦学性能测试表明,2N载荷下摩擦系数可低至0.15,磨损率在(5.641～6.575)×10-7 mm3/(N·m)范围内小幅度变化;10 N载荷下铜合金基底上的超厚DLC薄膜因其内应力较大并且分布不均匀造成摩擦系数的急剧升高,薄膜被磨穿.铝合金上的超厚DLC薄膜磨损率最低,为3.204×10-7 mm3/(N·m).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张广安	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	29	137	7.0	10.0
2	王云锋	兰州交通大学材料科学与工程学院	6	7	2.0	2.0
3	陈庆春	兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室	2	0	0.0	0.0
4	李安	兰州交通大学材料科学与工程学院	2	2	1.0	1.0