一种微纳多齿谐振光栅偏振分束器

• 作者: 张永棠
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光栅 偏振分束器 泄露模谐振 光学器件 光通信
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 页码范围: 1222-1227
• 页数: 6页
• 分类号: TN243
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2020.06.006

摘要

微纳光学器件是光路集成、片上光电转换和检测的重要基础器件.基于硅基微纳多齿谐振光栅,设计了一种高性能的微纳多齿谐振光栅偏振分束器(PBS).应用光栅对于TE和TM偏振光表现出不同的衍射性质,从而实现偏振分束的目的.通过严格耦合波理论分析,研究了光栅PBS的性能.结果表明,在1.53～1.62μm(90 nm)的宽带光谱上,该PBS的衍射效率大于97％,消光比(ER)大于16dB,以及角度带宽为8°等的优越性能.此外,还研究了结构参数对光栅PBS性能的影响,数值分析表明,该装置具有良好的工艺容差,可广泛应用于通信系统的路由和交换设备.