制备高Q值的光波导谐振腔的关键技术研究

• 作者: 焦克莹
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 谐振腔 品质因数 回音壁模式 光波导
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 页码范围: 1228-1231,1261
• 页数: 5页
• 分类号: TN815
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2020.06.007

摘要

品质因数Q是光学谐振腔具备的非常重要的参数,尺寸较大的谐振腔虽然每圈的损耗更大,但是它却拥有更高的Q值.针对此问题,从光子寿命方面对谐振腔的结构进行了相应的建模分析和仿真,然后提出引入等效单位传输损耗对谐振腔的腔长和品质因数的关系进行了理论上的分析并进行了仿真.通过硅基微纳加工技术加工了四种腔长分别为3.1 cm,9.5 cm,12.6 cm,18.8 cm的光波导谐振腔,保持其耦合系数不变时的测试结果为:谐振腔的传输损耗随着腔长的增加而降低,品质因数Q增大,测试结果与理论值一致.该结论为制备更高品质因数的光波导谐振腔提供一种新的研究思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	焦克莹		17	19	3.0	3.0