Al液滴在GaAs表面的熟化行为研究

• 作者: 丁召 李志宏 李耳士 王一 罗子江 蒋冲 郭祥 黄延彬
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 铝液滴 熟化 形貌 液滴外延
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1819-1824
• 页数: 6页
• 分类号: O472
• 语种: 中文

摘要

为探究Al液滴在GaAs表面的熟化行为,利用液滴外延法在GaAs衬底表面制备Al液滴.在零As压环境下,通过控制退火时间有效控制Al液滴的生长、成核.结合热力学原理和晶体生长理论对样品形貌变化现象进行物理解释,构建出液滴形貌变化过程中熟化、刻蚀和扩散行为的基本模型.理论计算表明,液滴在熟化行为达到退火239 s的平衡点后,被向下刻蚀和向外扩散两个行为同时消耗.